Наука: Синий свет стимулирует иммунитет
Как солнечный свет может помочь иммунитету? Считается, что здесь свою роль играет витамин D – в последнее ...

Наука: Виновны в сострадании
Российские силовики продолжают бороться с врачами и их пациентами: в последние дни стало известно о двух ...

Наука вне политики
Каждый год на первой лекции моего вводного курса я напоминаю студентам о позиции Макса Вебера, сформулированной в его известном докладе «П ...

Наука для здоровья: Что и сколько нужно есть, чтобы стать долгожителем
- Одна из основных причин увеличения продолжительности жизни - развитие медицинской науки, - рассказывает Наталья Пугачева. - Врачи научилис ...

  • # Ин13018

Индуктивные Источники Высокоплотной Плазмы и Их Технологические Применения

763 р.

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм

Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами

В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10"-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (Aei < 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (Ю^-ИО-1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30-^80) эВ/ион

Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества

Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку

Успехи в…






Средства измерений Учебник

Приведены основные, дополнительные и производные единицы Международной системы единиц физических величин (СИ). Рассмотрены основные понятия и определе

Приемники оптического излучения Учебник

Изложены физические основы построения, параметры и характеристики, схемы включения и конструктивные особенности различных приемников оптического излуч

Дифференциальные уравнения с частными производными первого порядка Учебное пособие

Учебное пособие посвящено методам решения дифференциальных уравнений с частными производными первого порядка. В нем приведены новые точные решения лин

Обыкновенные дифференциальные уравнения Учебник

Вниманию читателей предлагается классический учебник по математике, написанный на основе лекций, которые автор, выдающийся советский математик Л. С. П

Начертательная геометрия учебное пособие Издание четвертое исправленное и дополненное

В учебном пособии изложены основные методы проецирования, позволяющие строить изображения пространственных геометрических образов на плоскости, способ

Основы физики конденсированного состояния Учебное пособие

Такая копилка станет оригинальным подарком и принесет вам и вашим близким отличное настроение и только положительные эмоции!.

Квантование потенциала в уравнении Шрёдингера

Собственные функции и собственные значения. Область связанных состояний. Область непрерывного спектра энергии. Упругое рассеяние частиц. В настоящей кн

Физика тлеющего разряда

В книге систематически излагается современная физика тлеющих газовых разрядов (glows), то есть сравнительно слаботочных разрядов низкого и среднего да



Химическая термодинамика с Mathcad Расчетные задачи Учебное пособие

Пособие знакомит студентов и преподавателей с возможностями математического пакета Mathcad при иссле

Акустооптические лазерные системы формирования телевизионных изображений

В настоящей монографии изложена теория акустооптического взаимодействия для анизотропных кристалличе

Курс физики

Учебное пособие содержит теоретический материал курса общей физики, а также примеры решения типовых

Основы электродинамики с MATLAB Учебное пособие

Представлены основные сведения о среде программирования MATLAB. Рассмотрены вопросы вычислений в ком

Как все устроено сегодня Иллюстрированная энциклопедия устройств и механизмов

Перед вами обновленное издание легендарной энциклопедии об устройствах и механизмах, которое поможет

Ядерный магнитный резонанс в структурных исследованиях

В настоящей книге приводятся результаты главным образом собственных работ авторов по использованию м

Избранные работы по теоретической физике

В книге представлены избранные работы выдающегося физика-теоретика, доктора физико-математических на

Распространение радиоволн Учебное пособие

В настоящем пособии изложены закономерности распространения сантиметровых, дециметровых и метровых р

Изопериметрические неравенства в мат физике

Настоящая книга, принадлежащая перу известных американских математиков и педагогов Г. Полиа (или Д. По

Основные концепции совр физики

Математический аппарат использован в минимальном объеме, при этом физическая сторона того или иного

Кислород Молекула изменившая мир

Полная летопись главного химического элемента на Земле. С тех пор как в 1770-х годах кислород был от

Магнитостатические и электромагнитные волны в сложных структурах

Монография посвящена рассмотрению магнитостатических и электромагнитных волн в сложных структурах, о

Физическая и коллоидная химия Учебник и практикум для прикладного бакалавриата

Изучение физической химии является одной из важнейших составляющих образовательного процесса совреме

Квантовая теория излучения атомных частиц

Учебное пособие посвящено аналитическим и приближенным методам описания основных разделов квантовой

Курс физики для медиков Общая физика Учебное пособие

В основу учебного пособия положен курс лекций, читавшийся автором в течение 15 лет на факультете фун

Физика 10 класс Учебник для общеобразовательных организаций Базовый уровень

В учебнике, начинающем предметную линию «Классический курс», рассмотрены преимущественно вопросы кла

Биофизика воды

Квантовая нелокальность в технологиях водоподготовки. Регуляторная роль ассоциированной воды в клето

Биофизика Учеб

Настоящий учебник дает систематическое изложение основ современной биофизической науки в соответстви

Приемники оптического излучения Учебник

Изложены физические основы построения, параметры и характеристики, схемы включения и конструктивные

Поверхностно-ионизационная дрейф-спектрометрия Монография

Монография посвящена новому методу дрейф-спектрометрии, в котором реализован метод селективной повер

Занимательная физика Книги первая и вторая

Одно из лучших классических пособий по физике. Хитрые головоломки, замысловатые вопросы, забавные за

Нелинейная теория электронной эмиссии

Рассмотрены вопросы, связанные с учетом нелинейности распределения потенциала в прикатодной области.

Физические основы динамики атмосферы и метеорологии

Учебное пособие разработано профессорами ведущих австралийских учебных заведений: Австралийского Нац

Физическая химия Учебник

Учебник создан в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом по направлени

Физика Кн 2 Электродинамика Оптика

Учебник принципиально нового типа. Последовательность изложения соответствует логической структуре ф

Квантование потенциала в уравнении Шрёдингера

Собственные функции и собственные значения. Область связанных состояний. Область непрерывного спектр

Основы физики конденсированного состояния Учебное пособие

Такая копилка станет оригинальным подарком и принесет вам и вашим близким отличное настроение и толь

Общая физика лабораторные задачи Учебное пособие для СПО

Настоящее учебное пособие содержит описания лабораторных задач общего физического практикума по разд